近年來X熒光光譜儀在各個行業領域中不斷拓展，已經為廣泛應用于治金、地質、環保、建材等領域中。
X熒光光譜儀優點
a) 分析速度高。測定用時與測定精密度有關，但一般都很短，2～5分鐘就可以測完樣品中的全部待測元素。
b) X射線熒光光譜跟樣品的化學結合狀態無關，而且跟固體、粉末、液體及晶質、非晶質等物質的狀態也基本上沒有關系。(氣體密封在容器內也可分析)但是在高分辨率的精密測定中卻可看到有波長變化等現象。特別是在超軟X射線范圍內，這種效應更為顯著。波長變化用于化學位的測定 。
c) 非破壞分析。在測定中不會引起化學狀態的改變，也不會出現試樣飛散現象。同一試樣可反復多次測量，結果重現性好。
d) X射線熒光分析是一種物理分析方法，所以對在化學性質上屬同一族的元素也能進行分析。
e) 分析精密度高。
f) 制樣簡單，固體、粉末、液體樣品等都可以進行分析。
X熒光光譜儀缺點
a)難于作分析，故定量分析需要標樣。
b)對輕元素的靈敏度要低一些。
c)容易受相互元素干擾和疊加峰影響。
X熒光光譜儀 -主要用途：
1.熒光激發光譜和熒光發射光譜
2.同步熒光(波長和能量)掃描光譜
3.3D(Ex Em Intensity)
4.Time Base和CWA(固定波長單點測量)
5.熒光壽命測量，包括壽命分辨及時間分辨
6.計算機采集光譜數據和處理數據(Datamax和Gram32)
X熒光光譜儀性能
性能無疑是評估光譜儀非常重要的指針性能優異的光譜儀做篩選檢測能準確無誤地排查合格和不合格，并將不確定的灰色部分壓縮到zui小;
有的光譜儀鉛砷不分、鎘的特征譜線與X光管銠電極的特征譜線重迭等。經常誤判;
有的光譜儀檢測鎘的靈敏度不夠高，不能準確判定鎘;
大部分光譜儀的檢測穩定性受到X光管老化、環境溫度、電源波動等影響，使數值不準。
由于性能不足，可能發生錯判、誤判、無法判定等事件頻發，不確定的灰色部分比例大增。其后果必然是成本顯著提高、風險增加。
